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解决方案

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光刻机光源玻璃

太洋科技成功研发出高纯低铁级光学原材料,即i-line用高均匀性光学玻璃原材料,它具备优越的内透射率,适用于半导体制造设备(准分子激光扫描分步投影光刻机(stepper)),为我国光刻机助力高质量发展。